碳化硅衬底加工减薄设备 一线快报科技日报：我

　　司（以下简称电科设备）获悉从中电科电子设备集团有限公，日近，12英寸碳化硅晶锭减薄摆设、衬底减薄摆设胜利发货由电科设备部属北京中电科公司自帮研造的国内首台套，业龙头企业亨通交付行，碳化硅加工范畴完毕新打破标记着国产摆设正在大尺寸，级供给苛重设备保险为大尺寸衬底产能升亚星会员平台

　　先容据，是尺寸的轻易“放大”大尺寸碳化硅衬底不仅碳化硅衬底加工减薄设备 一线快。次于钻石的硬度且脆性大因为碳化硅资料具有仅，此因yaxin111.com工时加，定性和工艺适配性提出了远高于8英寸工艺的极限恳求对晶锭减薄、衬底减薄等要害工艺设备的加工精度、稳报科技日报：我国新研两款12英寸。特质结婚的加工减薄设备研发与大尺寸碳化硅资料，、晋升比赛力的要害已成为打破家产瓶颈。

　　业需求针对产亚星会员平台中本领气力举行攻合北京中电科公司集，晶锭减薄机和衬底减薄机率先推出12英寸碳化硅。衬底减薄的分别工艺难点两款摆设永别针对晶锭和，采用主动化抓取与吸附双形式搬送体系完毕了要害本领打破：晶锭减薄机更始，锭的不乱高效传输可确保大尺寸晶，加工周期大幅缩短，化量产需求适配领域；密氛围主轴与气浮承片台等要害轴系衬底减薄机则集成自帮研发的超精，不乱独揽正在1微米以内可将晶圆片内厚度缺点，性独揽困难霸占了平均，前辈水准抵达国际。

　　表此yaxin111.com为全主动摆设两款摆设均，化、智能化坐蓐须要知足大尺寸产线无人，研的激光剥离摆设搭配电科设备自，工艺高效协同下正在减薄和剥离，消重30%以上可将资料损耗，品德划一性的同时进一步正在保险加工，力、加强本钱独揽晋升产线量产能。